"ろ過で粒子を除去するエアフィルターは、粒子径と補修率から以下の4種類に分類られます。
クリーンルーム清浄度は以下の要因の取り合わせで決まるため、必要清浄度に応じて各要因を含む全般的な清浄度のレベルを管理する不可欠があります。
エアフィルターとは、空気中に浮遊している粒子状物質をろ過により清浄度する装置のことで、クリーンルームでは粗塵用エアフィルター、中性能エアフィルター、HEPAフィルター、ULPAフィルターが使用されています。
汚染物を排出し室内空気を清浄に保つためには、主に換気による技術と、エアフィルターなどで空気汚染物を除去する方法があります。